《特徴》
●加热舱、冷却舱分别配有独立的加压装置
●温度、压力可自由编辑/设置
●配以全自动传送系统，可实现全程无人操作
●更适合多品种少量的生产方式
●使用气氛（N２ 或 H２）

《产品概要》
对于单舱的批处理炉来说，加热→冷却→加热→冷却的循环操作是其提高生产效率及降低能耗的瓶颈。而2舱加压式热压炉由于采用加热舱与冷却舱的独立结构，大幅缩短了因各工序处理条件变更所形成的待机时间。另外，在前一批工件的处理期间，可进行下一批工件处理条件的准备，使工件间不同处理条件的连续条件变更时间缩短，特别是在多品种少量生产的生产方式下发挥出更大的优势。
配合设备整体的高度密封性，将加热、冷却的各舱所配置的油压加压设备在各工序内的热膨胀降低至最低限度，同时各舱内充入 N２ 或 H２气体，最大限度地防止了工件的氧化。

《特征》
●采用不锈钢炉体材及高纯度隔热材料，实现高度的无尘性能
●采用Sic材质的加热器，使温度分布的性能得以改善
●根据产品的规格大小进行专用设计

《产品概要》
电子部件及半导体的制作工艺中所使用的石英玻璃制品，在退火时要求尽可能地达到无尘的要求。我公司的石英玻璃用高纯度退火炉不仅采用高纯度的陶瓷纤维作为断热材料，同时炉体材料全部使用不锈钢制作，使石英玻璃制品在退火工序中的表面污染大幅减少。
另外，为顺应被处理物的大口径化，长尺寸化的趋势，我们正在尝试炉体的大型化。同时，按客户的要求进行专用设计。

《特征》
●更高的温度分布精度
●使用不锈钢板将隔热材料覆盖，降低炉内污染
●可根据产品的性状配以适合的传送方式能

《产品概要》
利用炉内风机的搅拌使温度更加均一，即使在200℃～400℃的温度相对较低区间，也可实现有效区域内±2℃以内的温度精度。
用于要求无尘度较高的产品时，则采用步进梁传送方式，最大限度地降低驱动部及滑动部产生的污染。